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[1]宁建华.光刻技术在流体动力密封研究中的应用[J].火箭推进,2005,31(04):41-43.
　Ning Jianhua.Application of photoetching to liquid hydrodynamic seal[J].Journal of Rocket Propulsion,2005,31(04):41-43.
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光刻技术在流体动力密封研究中的应用

《火箭推进》[ISSN:1672-9374/CN:CN 61-1436/V] 卷: 31 期数: 2005年04期 页码: 41-43 栏目: 出版日期: 2005-08-30
Title:
Application of photoetching to liquid hydrodynamic seal
作者:
宁建华；
陕西动力机械设计研究所陕西西安710100；
Author(s):
Ning Jianhua
Shaanxi Power Machine Design and Research Institute, Xi’an 710100, China
关键词:
光刻; 密封; 应用
分类号:
TB42
文献标志码:
A
摘要:
主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径。结果表明,采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术,可加工出满足设计要求的螺旋槽动环。

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更新日期/Last Update: 1900-01-01