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[1]宁建华,雷娟萍.光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用[J].火箭推进,2006,32(06):43-47.
　Ning Jianhua,Lei Juanping.Application of photoetching in the integral catalyst bed[J].Journal of Rocket Propulsion,2006,32(06):43-47.

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光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用

《火箭推进》[ISSN:1672-9374/CN:CN 61-1436/V] 卷: 32 期数: 2006年06期页码: 43-47 栏目: 出版日期: 2006-12-29

Title:: Application of photoetching in the integral catalyst bed

作者:: 宁建华；雷娟萍；; 西安航天动力研究所；西安航天动力研究所陕西西安710100；陕西西安710100；

Author(s):: Ning Jianhua; Lei Juanping; Xi’an Aerospace Propulsion Institute, Xi’an 710100, China

关键词:: 光刻; 整体式催化剂床; 过氧化氢催化分解

分类号:: V463

文献标志码:: A

摘要:: 采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。

相似文献/References:

[1]雷娟萍,林革.小型化高床载过氧化氢整体式催化剂床研究[J].火箭推进,2008,34(04):12.
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更新日期/Last Update: 1900-01-01