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[1]宁建华.光刻技术在金属板片刻蚀上的应用[J].火箭推进,2010,36(01):58-62.
　Ning Jianhua.Application of photoetching technique in metal diaphragm[J].Journal of Rocket Propulsion,2010,36(01):58-62.

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光刻技术在金属板片刻蚀上的应用

《火箭推进》[ISSN:1672-9374/CN:CN 61-1436/V] 卷: 36 期数: 2010年01期页码: 58-62 栏目: 测控与试验出版日期: 2010-02-15

Title:: Application of photoetching technique in metal diaphragm

作者:: 宁建华; 西安航天动力研究所,陕西西安,710100

Author(s):: Ning Jianhua

关键词:: 光刻技术、层板喷注器、膜片阀

分类号:: V434

文献标志码:: A

摘要:: 介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中.

更新日期/Last Update: 1900-01-01